特許
J-GLOBAL ID：200903017230325702
電子顕微鏡観察像の画像処理方法および画像処理プログラム並びに記録媒体
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-191785
公開番号（公開出願番号）：特開2004-038362
出願日： 2002年07月01日
公開日（公表日）： 2004年02月05日
要約：
【課題】透過型電子顕微鏡で観察された試料像の歪とボケを簡便に補正し、かつ、オングストロームレベルの分解能を実現可能な電子顕微鏡観察像の画像処理方法および画像処理プログラムを提供すること。【解決手段】観察試料のTEM観察を行うに際し、大きさと形態が既知の標準試料のTEM像を観察試料と同一条件下で撮影して電子データとして記録し、標準試料の観察画像電子データを基準画像電子データと比較して、Jacobi反復法、最急降下法、共役勾配法の何れかの非線形最適化法により精度の高い点像分布関数を求め、観察試料の観察画像電子データにこの点像分布関数を逆畳込演算して画像形成することで観察試料の観察画像中に含まれている歪とボケを補正することとした。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
電子顕微鏡観察像を補正するための画像処理方法であって、
予め大きさおよび形態が既知の標準試料の画像を基準画像電子データとして記録するステップと、
観察試料と前記標準試料とを同一条件下で撮影して当該観察試料および標準試料の電子顕微鏡観察像を得るステップと、
当該観察試料および標準試料の各々の電子顕微鏡観察像を観察画像電子データとして記録するステップと、
当該標準試料の観察画像電子データを前記基準画像電子データと比較して点像分布関数を求めるステップと、
前記観察試料の観察画像電子データに前記点像分布関数を逆畳込演算して復元画像を形成するステップとを備えることを特徴とする電子顕微鏡観察像の画像処理方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G06T5/20 B
, G06T1/00 295
5B057AA10
, 5B057BA12
, 5B057CA08
, 5B057CA12
, 5B057CA16
, 5B057CB08
, 5B057CB12
, 5B057CB16
, 5B057CE02
, 5B057CE03
, 5B057CE06
, 5B057CE11
