特許
J-GLOBAL ID：200903017235024220
電気的スパーク防止構造を備えたマイクロアクチュエータ、これを用いた磁気ヘッドアセンブリ及びディスク装置、マイクロアクチュエータの製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
馬場 資博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-255181
公開番号（公開出願番号）：特開2007-095275
出願日： 2006年09月21日
公開日（公表日）： 2007年04月12日
要約：
【課題】電気スパークを防ぐことができ、また、フレームをより薄く形成し、さらに、低コストで自由度の高い製造工程を有するマイクロアクチュエータを設計すること。【解決手段】2つのサイドアームを有する金属フレームと、2つのサイドアームを連結する少なくとも1つ支持アームと、を備えており、2つのサイドアームは、平行に、かつ、支持アーム上に搭載される磁気ヘッドスライダを相互間に保持可能なよう間隔をあけて配置されている。また、独立層が、金属フレームの各サイドアームに装備されており、圧電素子が、この独立層に接合されている。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
2つのサイドアームを有する金属フレームと、前記2つのサイドアームを連結する少なくとも1つ支持アームと、を備え、
前記2つのサイドアームは、平行に、かつ、前記支持アーム上に搭載される磁気ヘッドスライダを相互間に保持可能なよう間隔をあけて配置されており、
前記金属フレームの各サイドアームに装備された独立層と、
当該独立層に接合された圧電素子と、
を備えたことを特徴とするマイクロアクチュエータ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G11B21/10 N
, G11B21/21 D
5D059AA01
, 5D059BA01
, 5D059CA04
, 5D059DA01
, 5D059EA07
, 5D096NN03
