特許
J-GLOBAL ID：200903017245623513
走査電子顕微鏡
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高田 幸彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-145117
公開番号（公開出願番号）：特開2000-340154
出願日： 1999年05月25日
公開日（公表日）： 2000年12月08日
要約：
【要約】【目的】電子ビームによる長時間の試料照射を行うことなしに焦点合わせを行うこと。【構成】試料6の複数個の観察位置のうちの1つを観察視野に入れるように試料6を移動して、スルーフォーカス像を取得し、これらの像を、その像を取得したときの対物レンズ5の電流あるいは焦点距離とともに像記憶装置12に記憶する。次いで、次の観察位置が観察視野に入るように試料6を移動し、そのときの像を像記憶装置11に記憶し、その像と記憶されているスルーフォーカス像との相関を演算及び制御装置10で計算する。相関の最大値を与える像を得たときの焦点は正焦点と推定されるので、その正焦点と推定された焦点位置までの差の信号を演算及び制御装置10から制御装置15に送り、レンズ電源16により対物レンズ5の電流を制御し、正焦点位置での観察ができるように焦点合わせが行われる。
請求項（抜粋）：
試料を電子ビームで照射するとともに走査する第1の手段と、その走査によって発生する情報信号を検出する第2の手段と、その検出された情報信号にもとづいて前記試料の像を生成する第3の手段と、焦点状態の異なる複数の像を予め記憶するとともに、前記試料の像を記憶する第4の手段と、その記憶された試料の像と記憶された焦点状態の異なる複数の像との相関を計算してその相関の程度を比較し、その比較結果にもとづいて前記電子ビームを制御して焦点合わせをする第5の手段とを備えていることを特徴とする走査電子顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 37/21 B
, H01J 37/28 B
5C033MM01
, 5C033MM03
, 5C033MM05
