特許
J-GLOBAL ID：200903017251480600
異質材部を有するセラミックグリーンシート及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
竹下 和夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-356239
公開番号（公開出願番号）：特開平5-174649
出願日： 1991年12月24日
公開日（公表日）： 1993年07月13日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 セラミックグリーンシートのシート面に異質材部を設けても、グリーンシートを薄膜状に保ちしかもファインなパターンの異質材部を設け、更に、そのグリーンシートを能率よく形成できるようにする。【構成】 グリーンシート1のシート面に抜き穴2を設け、その内部に異質材部3を埋込み装備するもので、これを製造するのにあたり、セラミックペーストで形成したグリーンシート1のシート面にレジスト剤層4を形成した後、光線照射でグリーンシート1を含むレジスト剤層4に露光部を形成し、この露光部3を現像後除去し、残余のレジスト剤層4で被覆されたグリーンシート1のシート面に所定パターンの抜き穴2を形成し、その抜き穴2にグリーンシート1と材質を異にする材料の異質材ペーストを充填し、更に、グリーンシート1のシート面に残存するレジスト剤層4を剥取り除去させて異質材部3をグリーンシート1に形成する。
請求項（抜粋）：
セラミック積層体部品を構成するセラミックグリーンシートにおいて、当該グリーンシートのシート面に所定のパターンを有する抜き穴を設け、その抜き穴の内部にグリーンシートと材質を異にする材料の異質材部を一体的に埋込み装備したことを特徴とする異質材部を有するセラミックグリーンシート。
IPC (6件)：
H01B 17/60
, H01B 19/00 321
, H01G 4/12 415
, H01F 41/04
, H01H 11/00
, H05K 3/46
