特許
J-GLOBAL ID：200903017271547906
単結晶製造装置及びそれを用いた単結晶の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊藤 洋二 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-231250
公開番号（公開出願番号）：特開平11-071199
出願日： 1997年08月27日
公開日（公表日）： 1999年03月16日
要約：
【要約】【課題】 単結晶の成長面の温度を正確に検出できる昇華性ルツボを提供する。【解決手段】 ルツボ本体1aのうち、蓋材1bに配された種結晶である炭化珪素単結晶基板5の表面からの放射光を直接測定できる位置に、ルツボ1の内外を連通する開口部1cを形成し、この開口部1cを炭化珪素単結晶基板5の表面からの放射光を透過すると共に単結晶6の原料が昇華する温度においても形状を保持できる窓7で覆う。そして、この窓7を通じて炭化珪素単結晶層5の表面からの放射光を放射温度計2で計測できるようにする。このようにすれば、黒鉛製ルツボ1を密閉系にしつつ、炭化珪素単結晶基板5に成長する炭化珪素単結晶6の成長面の温度を正確に検出することができる。
請求項（抜粋）：
一面が開口したルツボ本体(1a)と、このルツボ本体(1a)の開口した面を覆う蓋材(1b)とを有してなり、前記ルツボ本体(1a)内に単結晶(6)の原料を充填すると共に、この原料を加熱昇華させて昇華ガスを生成するルツボ(1)を備え、前記蓋材(1b)に種結晶(5)を取り付け、前記昇華ガスによって前記種結晶(5)の表面上に前記原料の単結晶(6)を成長させる単結晶製造装置において、前記ルツボ本体(1a)のうち、前記蓋材(1b)に配された前記種結晶(5)の表面からの放射光を直接測定できる位置に、前記ルツボ(1)の内外を連通する開口部(1c)が形成されており、前記開口部(1c)は、前記種結晶(5)の表面からの放射光を透過すると共に、前記原料が昇華する温度においても形状を保持できる窓(7)で覆われていることを特徴とする単結晶製造装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C30B 29/36 A
, C30B 23/00
