磁気記録媒体、その製造方法、および磁気記録再生装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (7件)：志賀正武 , 高橋詔男 , 渡邊隆 , 青山正和 , 鈴木三義 , 西和哉 , 村山靖彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-182820
公開番号（公開出願番号）：特開2004-030740
出願日： 2002年06月24日
公開日（公表日）： 2004年01月29日
要約：

【課題】ノイズ特性を向上させることができ、かつ生産性に優れた磁気記録媒体、その製造方法、および磁気記録再生装置を提供する。【解決手段】非磁性基板1上に、軟磁性膜2と、配向制御膜3と、磁化容易軸が基板に対し主に垂直に配向した垂直磁気記録膜5と、保護膜6が設けられた磁気記録媒体を製造するにあたって、軟磁性膜2をスパッタ法を用いて形成し、軟磁性膜2を形成する際の成膜ガス圧を2Pa以上30Pa以下とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

非磁性基板上に、軟磁性膜と、配向制御膜と、磁化容易軸が基板に対し主に垂直に配向した垂直磁気記録膜と、保護膜が設けられた磁気記録媒体を製造する方法であって、前記軟磁性膜をスパッタ法を用いて形成し、軟磁性膜を形成する際の成膜ガス圧を2Pa以上30Pa以下とすることを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。

IPC (5件)：

G11B5/851 , C22C19/07 , C22C38/00 , C22C38/14 , G11B5/667

FI (5件)：

G11B5/851 , C22C19/07 C , C22C38/00 303H , C22C38/14 , G11B5/667

Fターム (17件)：

5D006BB01 , 5D006CA01 , 5D006CA03 , 5D006CA06 , 5D006DA03 , 5D006DA08 , 5D006EA03 , 5D006FA00 , 5D006FA09 , 5D112AA03 , 5D112AA04 , 5D112AA05 , 5D112AA07 , 5D112AA24 , 5D112BB01 , 5D112BD03 , 5D112FB20

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭61-005427
垂直磁気記録媒体および磁気記憶装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-266093 出願人：株式会社日立製作所

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