特許
J-GLOBAL ID：200903017276424268
圧力センサおよびその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
舘野 千惠子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-121038
公開番号（公開出願番号）：特開平5-296864
出願日： 1992年04月16日
公開日（公表日）： 1993年11月12日
要約：
【要約】【目的】 小型で高耐圧の圧力センサおよびその製造方法を提供する。【構成】 弾性変形素子として10〜50MPaの引っ張り応力を持ったダイヤモンド薄膜ダイアフラムを作製し、このうえに金属薄膜ストレインゲージを設けた構造とする。また、シリコン基板をエッチングする際にマスクとしてダイヤモンド薄膜を用いる。
請求項（抜粋）：
ダイアフラムと、該ダイアフラム上に形成したストレインゲージと、これらを支持する基板とから構成される圧力センサにおいて、ダイアフラムがダイヤモンド薄膜よりなることを特徴とする圧力センサ。
IPC (3件)：
G01L 9/04 101
, C30B 29/04
, H01L 29/84
