特許
J-GLOBAL ID：200903017281586390
レンズ検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
奈良 武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-156074
公開番号（公開出願番号）：特開平5-322694
出願日： 1992年05月22日
公開日（公表日）： 1993年12月07日
要約：
【要約】【目的】 被検査レンズ面からの不要な反射光を完全に除去することにより、全面の検査を一度に可能ならしめ検査を高速化するとともに判定精度の向上をも図ることのできるレンズ検査装置を提供することを目的とする。【構成】 半導体レーザ1、コリメートレンズ4、ビームスプリッタ5、集光レンズ6により被検査レンズ面8aに垂直な光束を照射し、レンズ面8aからの検査に有害な光束7を遮光マスク11により遮蔽する一方、被検査レンズの欠陥8bからの散乱光12を結像レンズ9により集光結像し、この欠陥像をTVカメラ13により解析する。
請求項（抜粋）：
被検査レンズ面に垂直な光束を照射する照明光学系と、該被検査レンズ表面または内部に存する欠陥からの散乱光を集光し結像する結像光学系と、検査に有害な光束を遮蔽する遮蔽手段と、前記欠陥の像を解析する解析手段とからなることを特徴とするレンズ検査装置。
IPC (3件)：
G01M 11/00
, G01N 21/88
, G06F 15/68 320
