特許
J-GLOBAL ID：200903017281748160
高熱伝導性炭化珪素焼結体の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-136973
公開番号（公開出願番号）：特開平5-330917
出願日： 1992年05月28日
公開日（公表日）： 1993年12月14日
要約：
【要約】【構成】炭化珪素を主成分とし、焼結助剤として少なくとも炭素および硼素を含有する成形体を真空中、又は不活性雰囲気中で焼成し、相対密度94%以上の焼結体を作成した後、該焼結体を不活性ガス圧力1000気圧以上、1700°C以上の高温高圧中で熱処理を行い、100W/m・k以上の熱伝導率を有する高熱伝導性炭化珪素焼結体を得る。【効果】BeO等の毒性物質を用いることなく、炭化珪素質焼結体の熱伝導率を高めることができる。
請求項（抜粋）：
炭化珪素を主成分とし、焼結助剤として少なくとも炭素および硼素を含有する成形体を真空中、又は不活性雰囲気中で焼成し、相対密度94%以上の焼結体を作成した後、該焼結体を不活性ガス圧力1000気圧以上、1700°C以上の高温高圧中で熱処理を行なうことを特徴とする100W/m・k以上の熱伝導率を有する高熱伝導性炭化珪素焼結体の製造方法。
IPC (2件)：
C04B 35/56 101
, C04B 35/56
