特許

J-GLOBAL ID：200903017292520455

欠陥検出方法及び欠陥検出装置

発明者： 上条 直裕
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (1件)： 小島 俊郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-284048
公開番号（公開出願番号）：特開2001-108639
出願日： 1999年10月05日
公開日（公表日）： 2001年04月20日
要約：

【要約】【課題】透明材料の多層構造の内部欠陥を検出するときに、透明材料の多層構造による内部欠陥のコントラスト低下を補償して、異物や疵などの内部欠陥を表面の疵と識別して検出する。【解決手段】液晶ディスプレイパネル10表面に同軸照明系4から平行光を垂直に照射して液晶ディスプレイパネル10の表面に対して垂直方向から撮像した画像と、液晶ディスプレイパネル10表面に拡散照明系5から散乱光を照射して液晶ディスプレイパネル10の表面に対して垂直方向から撮像した画像を加算し、液晶ディスプレイパネル10表面の疵の像と内部欠陥の像及び正常な部分である背景画像とのコントラストを高め、液晶ディスプレイパネル10の欠陥検出精度を高める。

請求項（抜粋）：

被検査物である透明材料の多層構造物表面に光を照射し、被検査物からの反射光のうち正反射光で撮像した被検査物の画像と被検査物からの反射光のうち散乱反射光で撮像した被検査物の画像を加算し、加算した画像の濃度分布から被検査物の欠陥を検出することを特徴とする欠陥検出方法。

IPC (2件)：

G01N 21/958 ,  G06T 7/00

FI (4件)：

G01N 21/958 ,  G06F 15/62 405 A ,  G06F 15/70 325 ,  G06F 15/70 330 N

Fターム (40件)：

2G051AA90 ,  2G051AB06 ,  2G051AB07 ,  2G051BA01 ,  2G051BB01 ,  2G051BB11 ,  2G051CA03 ,  2G051CA06 ,  2G051CB01 ,  2G051CB05 ,  2G051EA11 ,  2G051EA12 ,  2G051EA25 ,  2G051EB01 ,  5B057AA03 ,  5B057BA02 ,  5B057BA17 ,  5B057BA19 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CB08 ,  5B057CB12 ,  5B057CB16 ,  5B057CC01 ,  5B057CD02 ,  5B057CE08 ,  5B057DA03 ,  5B057DB02 ,  5B057DB09 ,  5B057DC23 ,  5L096AA06 ,  5L096BA03 ,  5L096CA04 ,  5L096CA17 ,  5L096DA01 ,  5L096EA15 ,  5L096EA45 ,  5L096FA17 ,  5L096FA37