特許
J-GLOBAL ID：200903017293844696
液晶表示素子用基板のパタ-ン形成方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡辺 徳廣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-055988
公開番号（公開出願番号）：特開平5-224220
出願日： 1992年02月07日
公開日（公表日）： 1993年09月03日
要約：
【要約】【目的】 サイドエッチの少ない良好なパターンが得られる液晶表示素子用基板のパタ-ン形成方法を提供する。【構成】 液晶表示素子用基板の表面にエッチングによりストライプ状の透明電極および金属配線パタ-ンからなる電極群を形成する方法において、少なくとも電極パタ-ンとなる透明導電被膜を成膜した後、エッチング液として塩酸、塩化第二鉄および酢酸の混合液を用いてパターニングする液晶表示素子用基板のパタ-ン形成方法。
請求項（抜粋）：
液晶表示素子用基板の表面にエッチングによりストライプ状の透明電極および金属配線パタ-ンからなる電極群を形成する方法において、少なくとも電極パタ-ンとなる透明導電被膜を成膜した後、エッチング液として塩酸、塩化第二鉄および酢酸の混合液を用いてパターニングすることを特徴とする液晶表示素子用基板のパタ-ン形成方法。
IPC (2件)：
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