特許
J-GLOBAL ID：200903017294275903
電解液のpH分布測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤本 英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-241826
公開番号（公開出願番号）：特開平11-064227
出願日： 1997年08月21日
公開日（公表日）： 1999年03月05日
要約：
【要約】【課題】 電気分解過程の解明や、より正確な電気分解過程の制御を可能とする電解液のpH分布測定装置を提供すること。【解決手段】 半導体基板11の表面に水素イオンに応答するセンサ面13を形成したセンサ9と、このセンサ9と一体構造に設けられ、前記半導体基板11の裏面から半導体基板11に対してプローブ光36を照射するための光照射部10とからセンサ部7を構成するとともに、このセンサ部7を、電解液2中に浸漬できるように、前記センサ面13以外を耐水モールド樹脂20で被覆した。
請求項（抜粋）：
半導体基板の表面に水素イオンに応答するセンサ面を形成したセンサと、このセンサと一体構造に設けられ、前記半導体基板の裏面から半導体基板に対してプローブ光を照射するための光照射部とからセンサ部を構成するとともに、このセンサ部を、電解液中に浸漬できるように、前記センサ面以外を耐水モールド樹脂で被覆したことを特徴とする電解液のpH分布測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 21/80
, G01N 21/75 Z
