特許

J-GLOBAL ID：200903017295699243

電気-機械変換装置

発明者： 和田 恭雄 ,  三矢 宗久 ,  市口 恒雄 ,  橋詰 富博 ,  平家 誠嗣 ,  ラトビッチ・マーク
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-210406
公開番号（公開出願番号）：特開平9-065491
出願日： 1995年08月18日
公開日（公表日）： 1997年03月07日
要約：

【要約】【目的】 格段に小型で、かつ高効率な電気-機械変換を可能にする装置を提供すること。【構成】 集積化静電アクチュエータと、該集積化静電アクチュエータにより動かされる可動部分と、該可動部分に接続され機械的動作可能な部分を少なくとも具備すること。

請求項（抜粋）：

固定部と可動部とが対向して配置され、両者の間に作用する静電力を制御して相対的な移動量を制御されるアクチュエータを具備したことを特徴とする電気-機械変換装置。

IPC (3件)：

H04R 19/01 ,  G01B 21/00 ,  G01R 5/00

FI (3件)：

H04R 19/01 ,  G01B 21/00 A ,  G01R 5/00 Z