特許
J-GLOBAL ID:200903017297897816

帯電量測定装置及び測定方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 樺山 亨 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-121713
公開番号(公開出願番号):特開平8-313488
出願日: 1995年05月19日
公開日(公表日): 1996年11月29日
要約:
【要約】【目的】基準粉体の落下による試料膜の機械的なダメージ,ダメージが生じた場合の試料の帯電量測定への影響,基準粉体が試料板に到達する前及び試料板から離脱した後の過程における基準粉体の不要な帯電,を低減できる、より高精度の帯電量測定装置及び測定方法を提供する。【構成】導電性基板1上に試料層2を密接して設けてなる試料板100を、試料板傾斜保持手段3で傾斜状態に保持し、粉体供給手段4により該試料板の試料層にその上方から基準粉体11を流しかけ、該試料板から落下した基準粉体を、電気的に絶縁された導電性受容器5で補集して、電荷測定装置6により該導電性受容器または該試料板の電荷量を測定する。基準粉体11を導電性材料とし、更に、導電性基板1と基準粉体11とを同一の材料とする。
請求項(抜粋):
導電性基板上に試料層を密接して設けてなる試料板と、該試料板を傾斜状態で保持する試料板傾斜保持手段と、該試料板の試料層にその上方から基準粉体を流しかける粉体供給手段と、該試料板から落下した基準粉体を補集する電気的に絶縁された導電性受容器と、該導電性受容器または該試料板の電荷量を測定する電荷測定装置とからなる帯電量測定装置において、該基準粉体が導電性材料からなり、更に、該導電性基板と該基準粉体が同一の材料からなることを特徴とする帯電量測定装置。
IPC (3件):
G01N 27/60 ,  G01R 29/24 ,  G03G 15/02 102
FI (3件):
G01N 27/60 F ,  G01R 29/24 G ,  G03G 15/02 102

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