特許
J-GLOBAL ID：200903017299248092
圧電体変位検出装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-253137
公開番号（公開出願番号）：特開平7-110233
出願日： 1993年10月08日
公開日（公表日）： 1995年04月25日
要約：
【要約】【目的】圧電体のX,Y,Z方向の非直線性を補正して、歪みがなく定量的に正確性の高い像を得る。【構成】カンチレバー変位検出部7は、カンチレバー8の変位を検出し、変位信号S1をA/D変換部3へ出力する。このA/D変換部3から読み出される情報に基づいて、Z制御部4を介してXYZ駆動用円筒型圧電体9をZ方向に伸縮させる。つまり、変位信号S1を一定値に保つようにZ制御し、そのZ制御データを測定データとする。但し、Z制御部4は圧電体変位検出部12から検出されたZ変位信号S5がフィードバックされるように構成されているので、Z制御データと圧電体変位の関係は直線的に補正されており、画像形成されたZ方向凹凸情報は精度良く再現されている。
請求項（抜粋）：
少なくともプローブと試料のいずれか一方を微動させるために一端を固定した圧電体と、上記圧電体の固定端に配設され光を照射する光源と、上記圧電体の上記光源に対向する位置に配設され上記光源光を受光する受光素子と、上記光源から発光された光束を上記受光素子へ集光する集光手段と、上記受光素子で受けた光量を検出する光量検出手段と、上記光量検出手段の出力変化に基づいて上記圧電体の変位を検出する圧電体変位検出手段と、を具備することを特徴とする圧電体変位検出装置。
IPC (3件)：
G01B 21/30
, G01B 7/34
, H01J 37/28
