特許

J-GLOBAL ID：200903017300594838

液晶表示素子の配向膜形成方法及び装置

発明者： 上 埜 亜希子 ,  富 井 等 ,  山 本 武 志 ,  長谷川 誠 ,  秋 吉 宗 治
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (1件)： 佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-275739
公開番号（公開出願番号）：特開平9-166783
出願日： 1995年10月24日
公開日（公表日）： 1997年06月24日
要約：

【要約】【課題】 表示性能の低下を可及的に防止することを可能にする。【解決手段】 透明電極が形成された透明基板上に配向膜材料を塗布することによって配向膜を成膜する工程と、塗布された前記配向膜の膜厚を計測する工程と、計測された前記膜厚が所定値未満の場合に、インクジェットノズルを用いて配向膜材料を塗布することにより前記配向膜の膜厚が所定値未満の箇所を補修する工程と、を備えていることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

透明電極が形成された透明基板上に配向膜材料を塗布することによって配向膜を成膜する工程と、塗布された前記配向膜の膜厚を計測する工程と、計測された前記膜厚が所定値未満の場合に、インクジェットノズルを用いて配向膜材料を塗布することにより前記配向膜の膜厚が所定値未満の箇所を補修する工程と、を備えていることを特徴とする液晶表示素子の配向膜形成方法。

IPC (3件)：

G02F 1/1337 ,  B41J 2/17 ,  G01B 11/06

FI (3件)：

G02F 1/1337 ,  G01B 11/06 G ,  B41J 3/04 102