特許

J-GLOBAL ID：200903017303706700

ウエーハの保持パッド

発明者： 桑名 一孝
出願人/特許権者： 株式会社ディスコ
代理人 (2件)： 小野 尚純 ,  奥貫 佐知子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-076616
公開番号（公開出願番号）：特開2007-258206
出願日： 2006年03月20日
公開日（公表日）： 2007年10月04日
要約：

【課題】外周部に環状の補強部が設けられ凹部が形成されウエーハであっても破損させることなく吸引保持することができるウエーハの保持パッドを提供する。【解決手段】表面に複数のデバイスが形成されたデバイス領域とデバイス領域を囲繞する外周余剰領域とを備えたウエーハを保持するウエーハの保持パッドであって、外周余剰領域に対応する環状の吸引保持面を備え該吸引保持面に吸引孔が開口された保持部と、保持部を支持する支持部とを具備している。【選択図】図8

請求項（抜粋）：

表面に複数のデバイスが形成されたデバイス領域と該デバイス領域を囲繞する外周余剰領域とを備えたウエーハを保持するウエーハの保持パッドであって、 該外周余剰領域に対応する環状の吸引保持面を備え該吸引保持面に吸引孔が開口された保持部と、該保持部を支持する支持部と、を具備している、 ことを特徴とするウエーハの保持パッド。

IPC (3件)：

H01L 21/677 ,  B23Q 3/08 ,  B25J 15/06

FI (4件)：

H01L21/68 B ,  B23Q3/08 A ,  B25J15/06 N ,  B25J15/06 H

Fターム (20件)：

3C007AS05 ,  3C007AS24 ,  3C007DS01 ,  3C007FS01 ,  3C007FT10 ,  3C007FT12 ,  3C007FT17 ,  3C007NS13 ,  3C016DA11 ,  5F031CA02 ,  5F031FA01 ,  5F031FA09 ,  5F031FA12 ,  5F031GA24 ,  5F031GA26 ,  5F031GA47 ,  5F031GA49 ,  5F031MA22 ,  5F031PA20 ,  5F031PA30

引用特許：

出願人引用 (1件)

• ウェーハ吸着パッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-195942   出願人：株式会社東京精密

審査官引用 (1件)

• ウェーハ吸着パッド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-195942   出願人：株式会社東京精密