特許
J-GLOBAL ID：200903017311873330
半導体ウエハのチップのプロービング時の測定条件設定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
浅井 章弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-329505
公開番号（公開出願番号）：特開平8-037213
出願日： 1994年12月03日
公開日（公表日）： 1996年02月06日
要約：
【要約】【目的】 グラフィック的に表示した半導体ウエハの表示面上にチップをレイアウト表示させて各チップに対してプロービング時の測定条件を設定することができると共に設定された測定条件を示す記号等をチップに対応させて表示できる測定条件設定装置を提供する。【構成】 半導体ウエハWのチップのプロービング時の測定条件設定装置20において、入力手段32と、ウエハ情報とチップ情報に基づいて各チップに座標を付ける座標演算手段40と、求めた座標とチップを関連させて記憶するチップ座標記憶部42と、測定条件を記憶した測定条件記憶部46と、上記入力手段からの指令や各記憶部の情報に基づいて各チップに対して測定条件を設定する測定条件設定手段50と、この結果を記憶する設定測定条件記憶部52と、上記ウエハとチップとをレイアウト表示しつつ設定された測定条件を示す記号や色とチップと重ね合わせて表示する表示手段22を設ける。
請求項（抜粋）：
プローブカードを用いて、半導体ウエハ上に縦横に配列して形成された多数のチップの電気的特性を検査する時の測定条件を設定する測定条件設定装置において、入力手段と、ウエハ情報とチップ情報とに基づいてイメージ上のウエハにイメージ上のチップを配列して各チップに座標を付ける座標演算手段と、この演算手段で求めた座標とチップを関連させて記憶するチップ座標記憶部と、複数の測定条件を予め記憶した測定条件記憶部と、前記チップ座標記憶部の情報と前記測定条件記憶部の情報と前記入力手段からの指令とに基づいて前記各チップに対して測定条件を設定する測定条件設定手段と、この設定手段で設定された測定条件と前記チップを関連させて記憶する設定測定条件記憶部と、前記チップ座標記憶部の情報に基づいてイメージ上のウエハ上にイメージ上の各チップをレイアウト表示すると共に前記チップ測定条件記憶部の情報に基づいて、表示されているイメージ上の各チップに対して設定された測定条件を示す記号或いは色を表示する表示手段とを備えたことを特徴とする半導体ウエハのチップのプロービング時の測定条件設定装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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