特許
J-GLOBAL ID:200903017312986316

アレイ型光変調素子、アレイ型露光素子、及び平面型ディスプレイの駆動方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 萩野 平 (外4名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-197733
公開番号(公開出願番号):特開2000-028938
出願日: 1998年07月13日
公開日(公表日): 2000年01月28日
要約:
【要約】【課題】 出力光量を低減させることなく、素子の必要な応答時間を十分に長く設定し、素子の設計自由度を向上させ、周辺回路の負担を軽減しつつ、1画面の露光時間を極端に短縮することができるアレイ型光変調素子、アレイ型露光素子の駆動方法を提供する。【解決手段】 可撓薄膜39を有する光変調部51を一次元又は二次元に配列し、この光変調部51の可撓薄膜39を静電気応力により変形させ、可撓薄膜39を透過する光の透過率を変化させるアレイ型光変調素子57の駆動方法において、1フィールド期間に各走査の間隔を重みづけ制御して複数回走査することにより階調を得る。また、このような駆動方法により駆動される光変調部51を要部として用い、アレイ型露光素子、又は平面型ディスプレイを構成する。
請求項(抜粋):
可撓薄膜を有する光変調部を1次元又は2次元に配列し、該光変調部の前記可撓薄膜を静電気応力により変形させ、光の透過率を変化させるアレイ型光変調素子の駆動方法において、1フィールド期間に各走査の間隔を重みづけして複数回走査することにより階調を得ることを特徴とするアレイ型光変調素子の駆動方法。
IPC (3件):
G02B 26/08 ,  G09G 3/20 641 ,  G09G 3/34
FI (3件):
G02B 26/08 J ,  G09G 3/20 641 E ,  G09G 3/34 Z
Fターム (19件):
2H041AA05 ,  2H041AA06 ,  2H041AB00 ,  2H041AB10 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ05 ,  5C080AA18 ,  5C080BB05 ,  5C080DD01 ,  5C080DD22 ,  5C080DD30 ,  5C080EE29 ,  5C080FF01 ,  5C080FF12 ,  5C080GG02 ,  5C080JJ02 ,  5C080JJ04 ,  5C080JJ05 ,  5C080JJ06

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