特許
J-GLOBAL ID：200903017317210650
スクリユー式ドライ真空ポンプの暖気運転制御方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
熊谷 隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-295195
公開番号（公開出願番号）：特開平5-106578
出願日： 1991年10月15日
公開日（公表日）： 1993年04月27日
要約：
【要約】【目的】 暖気運転時間が短く、且つ暖気運転時の動力の低減を図ることのできるスクリュー式ドライ真空ポンプの暖気運転制御方法を提供すること。【構成】 スクリュー式ドライ真空ポンプの真空引きされていない状態からの下記の?@乃至?Cのいずれかの一つの条件或いは2つ以上の条件を満たした状態で暖気運転を行う方法。?@スクリュー式ドライ真空ポンプの吐出側に設けた絞り弁を絞る。?Aスクリュー式ドライ真空ポンプに吐出側と吸込側を連結するバイパス通路を設け、該バイパス通路に設けた弁を開く。?Bスクリュー式ドライ真空ポンプ本体を冷却する冷却流体の流量を減らすか又は止めるか或いは部分的に止める。?Cスクリュー式ドライ真空ポンプの吸込側より大量のパージガスをポンプ内に流す。
請求項（抜粋）：
スクリュー式ドライ真空ポンプの真空引きされていない状態からの下記の?@乃至?Cのいずれかの一つの条件を満たした状態で暖気運転を行うことを特徴とするスクリュー式ドライ真空ポンプの暖気運転制御方法。?@前記スクリュー式ドライ真空ポンプの吐出側に絞り弁を設け、該絞り弁を絞る。?A前記スクリュー式ドライ真空ポンプに吐出側と吸込側を連結するバイパス通路を設け、該バイパス通路に設けた弁を開く。?B前記スクリュー式ドライ真空ポンプ本体を冷却する冷却流体の流量を減らすか又は止めるか或いは部分的に止める。?C前記スクリュー式ドライ真空ポンプの吸込側より大量のパージガスをポンプ内に流す。
IPC (2件)：
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