特許

J-GLOBAL ID：200903017320133187

赤外線検出器

発明者： 曽根 孝典
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 宮田 金雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-269671
公開番号（公開出願番号）：特開平10-115556
出願日： 1996年10月11日
公開日（公表日）： 1998年05月06日
要約：

【要約】【課題】 熱型の赤外線検知アレイの受光部の真空気密が容易に得られ、またボロメータ方式の赤外線検知アレイの温度安定が容易に得られる。【解決手段】 シリコン基板1の上に形成した受光部2の前面に、赤外線透過窓4を空隙3を有して配置し、透過窓4は受光部2を囲む範囲の接着面で、基板1に気密に接着することにより固定し、かつ空隙3の内部を真空にする。

請求項（抜粋）：

基板上に受光部を形成したボロメータ方式、サーモパイル方式、または焦電方式の赤外線検知アレイにおいて、赤外線透過窓を、上記受光部の前面に空隙を有して配置し、上記透過窓は、上記受光部を完全に囲む接着面で、上記受光部を形成した上記基板に気密に接着することにより固定し、かつ上記空隙を真空とすることを特徴とする赤外線検出器。

IPC (2件)：

G01J 5/02 ,  G01J 5/48

FI (3件)：

G01J 5/02 F ,  G01J 5/02 J ,  G01J 5/48 F

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特表平7-508384
  
• 特開昭55-098320
  
• 特表平7-508384
  
• 特開昭55-098320