特許
J-GLOBAL ID：200903017320178962
三弗化窒素ガスの精製方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-225136
公開番号（公開出願番号）：特開平8-091812
出願日： 1994年09月20日
公開日（公表日）： 1996年04月09日
要約：
【要約】【構成】 合成ゼオライトを、予め250 〜500 °Cの範囲の温度に加熱処理をおこなった後、三弗化窒素ガスを-125 〜50°Cの温度でかつ実質的に水分の混入しない状態で通気させる。【効果】 三弗化窒素ガス中の六弗化イオウを、効率良く除去することができる。
請求項（抜粋）：
合成ゼオライトを、予め250 〜500 °Cの範囲の温度に加熱処理をおこなった後、三弗化窒素ガスを-125 〜50°Cの温度でかつ実質的に水分の混入しない状態で通気させることを特徴とする三弗化窒素ガスの精製方法。
IPC (2件)：
引用特許：
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