特許
J-GLOBAL ID:200903017322921190

外径測定機を用いた形状測定方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 森 道雄 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-287704
公開番号(公開出願番号):特開平8-145636
出願日: 1994年11月22日
公開日(公表日): 1996年06月07日
要約:
【要約】 (修正有)【目的】外径測定機を用いて被測定物の3次元的形状を測定するに際し、被測定物の断面が真円、若しくは真の楕円で無い場合でも、高精度に断面形状を測定する方法を提供する。【構成】外径測定機と被測定物の何れかを平面上で回転する。回転中の一定角度間隔毎に回転角θと外径測定機の明暗の境界の位置D1 、D2 とを測定・記録する。外径測定機あるいは被測定物の何れかを移動して、回転中心を回転軸に沿って回転平面に垂直(Z軸)方向に移動する。回転角θおよび明暗の境界の位置D1 、D2 を任意Z軸断面上で測定・記録する。測定値(θ,D1 ,D2 ,Z)から、被測定物に対する接線の式を演算する。前記接線の式が構成する包絡線の式を演算する。これから任意の断面の断面形状を求める。
請求項(抜粋):
平行光を被測定物に照射し、被測定物を通過した後の平行光を受光し、被測定物の影により生じた平行光の明暗の境界の位置を外径測定機の持つ原点からの距離として表したD1 およびD2 から、被測定物の外径を測定する外径測定機を用いる形状測定方法であって、前記外径測定機と被測定物とを同一平面(X-Y平面)上で相対的に回転し、回転中の一定角度間隔毎に回転角θと前記明暗の境界の位置D1 、D2 とを組み合わせ測定・記録し、外径測定機と被測定物との回転中心を回転軸に沿って前記回転平面に垂直(Z軸)方向に移動し、上記回転角θおよび明暗の境界の位置D1 、D2 を任意Z軸断面上で測定・記録し、前記測定値(θ,D1 ,D2 ,Z)から、回転平面をX,Y座標面、軸移動方向をZ軸として得られるX-Y-Z座標系上に於ける被測定物に対する接線の式を任意の断面毎に演算し、任意の断面毎に求めた全ての前記接線の式が構成する包絡線の式、または包絡線上の点の座標を演算し、その値から任意の断面の断面形状を求めることを特徴とする外径測定機を用いた形状測定方法。
IPC (2件):
G01B 11/24 ,  G01B 11/08

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