特許
J-GLOBAL ID:200903017323188578
III -V族化合物を用いた発光及び受光素子
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
長谷川 曉司
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-313650
公開番号(公開出願番号):特開平6-163985
出願日: 1992年11月24日
公開日(公表日): 1994年06月10日
要約:
【要約】【構成】 エピタキシャル成長法によるIII -V族化合物半導体の発光素子又は受光素子において、半導体接合界面における、p型層側のp型の添加不純物として炭素を、n型層側のn型の添加不純物としてシリコンを用いることを特徴とするIII -V族化合物半導体の発光素子又は受光素子【効果】 本発明により、明確な半導体接合面が得られ、この結果設計通りの性能を持つIII -V族化合物半導体の発光素子または受光素子を提供することができ、またドーパントの拡散に起因する素子の劣化が生じにくいIII -V族化合物半導体の発光素子または受光素子を提供することである。
請求項(抜粋):
エピタキシャル成長法によるIII -V族化合物半導体の発光素子又は受光素子において、半導体接合界面における、p型層側のp型の添加不純物として炭素を、n型層側のn型の添加不純物としてシリコンを用いることを特徴とするIII -V族化合物半導体の発光素子又は受光素子
IPC (4件):
H01L 33/00
, H01L 31/04
, H01L 31/10
, H01S 3/18
FI (2件):
H01L 31/04 E
, H01L 31/10 A
引用特許:
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