特許
J-GLOBAL ID：200903017326547200
電子ビーム検査装置およびその方法ならびに荷電粒子線応用装置およびその方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
高橋 明夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-056508
公開番号（公開出願番号）：特開平11-260306
出願日： 1998年03月09日
公開日（公表日）： 1999年09月24日
要約：
【要約】【課題】 基板からの二次電子および/または反射電子を高効率に、且つ高速に検出する電子ビーム検査装置を提供する。【解決手段】 基板表面から発生する第1の二次電子202、反射電子204を加速、偏向し板部材7に照射して第2の二次電子203を発生させ、検出器13と吸引電極14および板部材7で形成する加速・収束する電界で小面積の検出器13へ検出するようにし、第1の二次電子202および/または反射電子204を小角度の偏向によって損失なく高効率に、高速に検出することができ、絶縁物も含めて高速、高精度な半導体ウェハ検査ができる電子ビーム検査装置を提供する。
請求項（抜粋）：
電子源と、前記電子源からの電子ビームを収束して試料上を走査し照射する電子光学系と、前記試料を保持する試料台と、前記試料からの二次荷電粒子及び/または反射電子を偏向させる偏向器と、前記偏向器より前記試料台側に、前記試料からの二次荷電粒子及び/または反射電子を減速させる電界を発生させる電極と、前記試料からの二次荷電粒子/または反射電子の方向を変える板部材と、前記板部材からの第2の荷電粒子及び/または反射粒子を検出する当該板部材より小なる開口部を有する検出器を具備したことを特徴とする電子ビーム検査装置。
IPC (4件)：
H01J 37/28
, G01R 31/302
, H01J 37/244
, H01L 21/66
H01J 37/28 B
, H01J 37/244
, H01L 21/66 J
, G01R 31/28 L
