特許
J-GLOBAL ID：200903017329722037
固体撮像素子の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-007606
公開番号（公開出願番号）：特開平10-209410
出願日： 1997年01月20日
公開日（公表日）： 1998年08月07日
要約：
【要約】【課題】 カラーフィルタの隣接して形成されるフィルタに被りや隙間を生じることなく良好な形状に形成する固体撮像装置の製造方法の提供。【解決手段】 平坦化膜6上に赤フィルタ7aを覆って緑フィルタ7bを形成し、さらに緑フィルタ7bを覆って青フィルタ7cを形成する。次に、異方性エッチングで青フィルタ7c、緑フィルタ7bおよび赤フィルタ7aの一部を順次除去することにより、所望の均一な厚さのカラーフィルタ7を形成することを特徴とする。【効果】 隣接するフィルタは、被りや隙間を生じることなく、また、異方性エッチングの制御によりカラーフィルタの膜厚をより薄く形成することができるので、固体撮像素子の感度やスミア等の特性変動を小とすることができる。
請求項（抜粋）：
シリコン基板に受光部を形成する工程と、前記受光部上に平坦化膜を形成する工程と、前記平坦化膜上に複数のフィルタを対とするカラーフィルタを形成する工程と、前記カラーフィルタ上に集光レンズを形成する工程とを有する固体撮像素子の製造方法であって、前記カラーフィルタを形成する工程が、複数の前記フィルタのうちの何れか一種を前記平坦化膜上に形成した後、他の前記フィルタを順次覆うようにして形成する工程と、前記フィルタの一部を異方性エッチングにより除去し、前記カラーフィルタを均一な厚さに形成する工程とを有するものであることを特徴とする固体撮像素子の製造方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 27/14 D
, H04N 5/335 V
