基板検査装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-013904
公開番号（公開出願番号）：特開平6-229934
出願日： 1993年01月29日
公開日（公表日）： 1994年08月19日
要約：

【要約】【目的】検査基板を短時間で確実に移送することができる低価格且つコンパクトな基板検査装置を適用する。【構成】基板検査装置の搬出搬入手段60は、カセット34から適当な基板28を取出可能で且つカセット内に基板を収納可能に構成された凹字形搬送アーム60aと、この搬送アームから基板を受け取ってXステージ38a上に載置可能で且つXステージ上に載置されている基板を搬送アームに載換可能に構成された凸字形載換台60bとを備えている。搬送アームは、プーリ66に掛けられたベルト68によって搬送ガイド62に沿って図中X方向に移動可能で、また、載置台は、シリンダ74によって一対の載置台ガイド76に沿って図中Z方向に昇降可能に構成されている。

請求項（抜粋）：

所定方向に移動可能に構成されたステージと、このステージ上に載置された基板を検査測定する測定ヘッドとを備えた測定装置を具備する基板検査装置において、前記測定装置には、前記基板を複数枚収納可能に構成されたカセットから任意に前記基板を取り出して前記ステージ上に載置可能で且つ前記ステージ上に載置されている前記基板を前記カセット内に収納可能に構成された搬出搬入手段が設けられていることを特徴とする基板検査装置。

IPC (5件)：

G01N 21/88 , G01B 11/30 , G01N 21/01 , H01L 21/68 , H01L 21/66

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平4-315948
特開平4-315948
特開平4-188746

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