特許
J-GLOBAL ID:200903017339419340
レーザー光軸制御方法及び制御装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
高野 明近 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-111162
公開番号(公開出願番号):特開平6-060404
出願日: 1991年04月16日
公開日(公表日): 1994年03月04日
要約:
【要約】【目的】 4分割中心付近でのレーザー光軸変位信号の検出感度を上げ、制御精度を向上させる。【構成】 光検出器(4分割フォトダイオード)5からの信号を光軸検出回路6でアナログ演算することで、2軸方向の変位信号(VX,VZ)を得る。変位信号(VX,VZ)は制御回路7a,7bを通り、リニアアクチュエータ8a,8bを駆動するように働く。前記4分割フォトダイオードの中心部分に円形の不感帯を設けてあるので、中心付近での変位検出感度が向上する。
請求項(抜粋):
コーナーキューブを通過したレーザー出射光の1部を光検出器で受光し、該光検出器からの信号をアナログ演算により、2軸方向の変位信号をフィードバックし、前記コーナーキューブを駆動させ、レーザー出射光軸を安定させるレーザー光軸制御方法において、前記光検出器の中心部分に円形の不感帯を設けたことを特徴とするレーザー光軸制御方法。
IPC (4件):
G11B 7/09
, G02B 7/00
, G11B 7/08
, G11B 7/26 501
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