特許
J-GLOBAL ID：200903017344418263
角速度センサ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
広瀬 和彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-211845
公開番号（公開出願番号）：特開2000-028366
出願日： 1998年07月10日
公開日（公表日）： 2000年01月28日
要約：
【要約】【課題】 加速度が加わったときでも、加速度による影響を受けることなく角速度を検出し、角速度の検出感度を高める。【解決手段】 基板1には、支持部2、回転支持梁3を介して回転振動体4を取付け、この回転振動体4を振動発生部12A〜12Dによって軸線O1 -O1 を中心に回転振動させる。また、回転振動体4の左側のロ字状枠部4A内には第1の支持梁5を介して第1のH字状振動部6を配設すると共に、右側の枠部4B内には第2の支持梁5を介して第2のH字状振動部8を配設する。そして、回転振動体4を回転振動させた状態で軸線O1 -O1 の周りに角速度Ωが加わると、第1,第2のH字状振動部6,8は軸線O1 -O1 を中心としてX軸方向で点対称に振動する。このときの第1,第2のH字状振動部6,8の変位を第1,第2の変位検出部16L,16R,20L,20Rによって検出する。
請求項（抜粋）：
平板状の基板と、回転振動の中心である該基板に垂直な中心軸から基板上を左,右方向に伸長して形成され、該中心軸の位置に回転支持梁によって回転振動可能に支持された回転振動体と、該回転振動体の左,右方向の一端側に位置して設けられ、第1の支持梁によって左,右方向に振動可能に支持された第1の振動体と、前記回転振動体の左,右方向の他端側に位置して設けられ、第2の支持梁によって左,右方向に振動可能に支持された第2の振動体と、前記回転振動体を回転振動させて第1の振動体を前,後方向に振動させたときには第2の振動体を後,前方向に振動させる回転振動発生手段と、該回転振動発生手段により回転振動体に回転振動を与えている状態で、回転振動体の中心軸の周りに角速度が加わったときに左,右方向に振動する前記第1の振動体の変位を検出する第1の変位検出手段と、該回転振動発生手段により回転振動体に回転振動を与えている状態で、回転振動体の中心軸の周りに角速度が加わったときに左,右方向に振動する前記第2の振動体の変位を検出する第2の変位検出手段とから構成してなる角速度センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (7件)：
2F105BB07
, 2F105BB17
, 2F105CC04
, 2F105CD03
, 2F105CD05
, 2F105CD13
, 2F105CD20
