特許
J-GLOBAL ID:200903017347167156
送液システムおよびこれにもちいるポンプユニット
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
小野 信夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-290865
公開番号(公開出願番号):特開2001-107872
出願日: 1999年10月13日
公開日(公表日): 2001年04月17日
要約:
【要約】【課題】 溶液の比重、粘度や、貯液槽の液面の高さに影響されることなく、少量の溶液を正確に測定しながら送液でき、システムとして価格が安く、しかも装置がコンパクトである送液システムを提供すること。【解決手段】 貯液槽、複数連のベローズポンプ、流量センサー、溶液を添加する反応槽およびコントローラよりなり、貯液槽から複数連ポンプへの配管は、途中でベローズポンプの数に分かれ、複数連ベローズポンプから流量センサーへのの配管は、途中で一本の配管となり、複数連のベローズポンプは、タイミングをずらして順次液体を吸引、吐出し、複数連ベローズポンプの作動は、流量センサーからの情報を受けたコントローラにより管理することを特徴とする送液システムおよびこれに用いるポンプユニット。
請求項(抜粋):
貯液槽、複数連のベローズポンプ、流量センサー、溶液を添加する反応槽およびコントローラよりなり、貯液槽から複数連ポンプへの配管は、途中でベローズポンプの数に分かれ、複数連ベローズポンプから流量センサーへのの配管は、途中で一本の配管となり、複数連のベローズポンプは、タイミングをずらして順次液体を吸引、吐出し、複数連ベローズポンプの作動は、流量センサーからの情報を受けたコントローラにより管理することを特徴とする送液システム。
IPC (3件):
F04B 49/06 321
, F04B 43/08
, C23C 18/16
FI (3件):
F04B 49/06 321 B
, F04B 43/08 A
, C23C 18/16 C
Fターム (23件):
3H045AA02
, 3H045AA09
, 3H045AA16
, 3H045AA22
, 3H045BA19
, 3H045BA36
, 3H045CA06
, 3H045CA29
, 3H045DA05
, 3H045EA38
, 3H077AA08
, 3H077CC02
, 3H077CC09
, 3H077DD02
, 3H077EE05
, 3H077FF03
, 3H077FF06
, 3H077FF14
, 3H077FF55
, 4K022AA41
, 4K022BA08
, 4K022DA01
, 4K022DB28
引用特許:
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