特許

J-GLOBAL ID：200903017350009642

パターン形成方法、カラーフィルタの製造方法、電気光学装置の製造方法、カラーフィルタ、電気光学装置、及び電子機器

発明者： 柳原 弘和
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (3件)： 上柳 雅誉 ,  藤綱 英吉 ,  須澤 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-050102
公開番号（公開出願番号）：特開2005-241854
出願日： 2004年02月25日
公開日（公表日）： 2005年09月08日
要約：

【課題】 有機EL装置の隔壁を始めとする電気光学装置の各種パターンの形成方法において、工程の簡素化を達成し、低コストの電気光学装置を実現できるパターン形成方法、カラーフィルタの製造方法、電気光学装置の製造方法、カラーフィルタ、電気光学装置、及び電子機器を提供する。【解決手段】 液滴吐出法を用いて基板10上に所定パターンの機能膜13を形成するパターン形成方法であって、前記機能膜13の主成分を含有する第1液体材料LBを前記液滴吐出法によって前記所定パターンで塗布する工程と、前記第1液体材料を凝集させる第2液体材料LAを前記液滴吐出法によって前記所定パターンで塗布する工程とを有することを特徴とする。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

液滴吐出法を用いて基板上に所定パターンの機能膜を形成するパターン形成方法であって、 前記機能膜の主成分を含有する第1液体材料を前記液滴吐出法によって前記所定パターンで塗布する工程と、 前記第1液体材料を凝集させる第2液体材料を前記液滴吐出法によって前記所定パターンで塗布する工程と、 を有することを特徴とするパターン形成方法。

IPC (9件)：

G02B5/20 ,  B05D1/26 ,  B05D1/38 ,  G02F1/1333 ,  G02F1/1335 ,  H01L21/288 ,  H01L21/3205 ,  H05B33/10 ,  H05B33/14

FI (9件)：

G02B5/20 101 ,  B05D1/26 Z ,  B05D1/38 ,  G02F1/1333 505 ,  G02F1/1335 505 ,  H01L21/288 Z ,  H05B33/10 ,  H05B33/14 A ,  H01L21/88 B

Fターム (68件)：

2H048BA02 ,  2H048BA64 ,  2H048BB02 ,  2H048BB42 ,  2H090HA03 ,  2H090HA04 ,  2H090HA05 ,  2H090HB01X ,  2H090HB08Y ,  2H090HC05 ,  2H090HC15 ,  2H090JA03 ,  2H090JC03 ,  2H090KA04 ,  2H090LA04 ,  2H090LA07 ,  2H090LA08 ,  2H090LA09 ,  2H090LA15 ,  2H090LA16 ,  2H090MA01 ,  2H090MA06 ,  2H090MA12 ,  2H091FA02Y ,  2H091FA08X ,  2H091FA08Z ,  2H091FA11X ,  2H091FA11Z ,  2H091FA12X ,  2H091FA12Z ,  2H091FA14Y ,  2H091FA35Y ,  2H091FA41Z ,  2H091FB02 ,  2H091FB11 ,  2H091FC22 ,  2H091FD03 ,  2H091GA01 ,  2H091GA13 ,  2H091GA16 ,  2H091HA06 ,  2H091JA03 ,  2H091KA10 ,  2H091LA12 ,  3K007AB18 ,  3K007BA06 ,  3K007DB03 ,  3K007FA00 ,  3K007FA01 ,  4D075AC07 ,  4D075AC84 ,  4D075AC88 ,  4D075AE03 ,  4D075BB21Z ,  4D075BB65X ,  4D075DA06 ,  4D075DB01 ,  4D075DB13 ,  4D075DB31 ,  4D075DC24 ,  4D075EA27 ,  4D075EB31 ,  4D075EB32 ,  4D075EC08 ,  4M104BB00 ,  4M104DD51 ,  5F033HH00 ,  5F033PP26

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 特許第3328297号明細書