特許

J-GLOBAL ID：200903017359382796

物体の位置決め装置

発明者： バルツケ、カールハインツ ,  ハルトマン、トーマス ,  マシュケ、ギュンター ,  シュタイナー、ラインハルト ,  マック、シュテファン
出願人/特許権者： カール ツァイス イェナ ゲーエムベーハー
代理人 (1件)： 恩田 博宣 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-577718
公開番号（公開出願番号）：特表2002-528806
出願日： 1999年10月13日
公開日（公表日）： 2002年09月03日
要約：

【要約】圧電素子(3)を用いて、物体(2)がその上で変位可能なベース(1)に対して、前記物体(2)の位置決めを行うための装置において、前記物体(2)と前記ベース(1)との間の変位が、打撃ブロック(4)の打撃面(41)上への圧電素子(3)のハンマ式殴打によって行われ、前記圧電素子(3)および/または前記打撃ブロック(4)が前記物体(2)に連結されている。

請求項（抜粋）：

制御装置(8)によって制御可能な圧電素子(3)を用いて、物体(2)がその上で変位可能なベース(1)に対する、前記物体(2)の位置決めを行うための装置であって、前記物体(2)と前記ベース(1)との間の変位が、打撃ブロック(4)の打撃面(41)上への圧電素子(3)のハンマ式殴打によって行われ、前記圧電素子(3)および/または前記打撃ブロック(4)が前記物体(2)に連結されていることを特徴とする物体の位置決め装置。

IPC (2件)：

G05D 3/00 ,  H01L 41/09

FI (3件)：

G05D 3/00 G ,  G05D 3/00 U ,  H01L 41/08 U

Fターム (15件)：

5H303AA06 ,  5H303AA20 ,  5H303BB01 ,  5H303BB06 ,  5H303BB11 ,  5H303CC01 ,  5H303DD11 ,  5H303DD14 ,  5H303DD21 ,  5H303EE03 ,  5H303FF01 ,  5H303GG06 ,  5H303GG10 ,  5H303HH02 ,  5H303MM02