特許
J-GLOBAL ID:200903017360793104
カラーフィルタ基板
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
小西 淳美
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-167345
公開番号(公開出願番号):特開平7-005322
出願日: 1993年06月15日
公開日(公表日): 1995年01月10日
要約:
【要約】【目的】プロキシミティ方式でカラーフィルタ基板の着色感光性樹脂をパターン露光する際、フォトマスクと基板との間隙を高精度にギャップ調整することにより、寸法精度が良好な着色層パターンを形成する方法を提供する。【構成】プロキシアライナーでフォトマスク6とカラーフィルタ基板1のギャップ20を制御をする際、ガラス基板上の着色画素形成領域以外の部分に、ギャップ検出用検査光12の反射層5を設けた構成のカラーフィルタ基板。
請求項(抜粋):
透明基板上にパターン状に着色画素を形成したカラーフィルタ基板において、透明基板上の着色画素を形成した領域以外の部分に反射層を有することを特徴とするカラーフィルタ基板。
IPC (2件):
G02B 5/20 101
, G02F 1/1335 505
引用特許:
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