特許

J-GLOBAL ID：200903017366442788

現像方法

発明者： 池田 武司
出願人/特許権者： 凸版印刷株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-041016
公開番号（公開出願番号）：特開2001-230188
出願日： 2000年02月18日
公開日（公表日）： 2001年08月24日
要約：

【要約】【課題】支持体上に感光性樹脂を塗布した後パターン露光を施した被現像基板を、搬送しながらシャワー状に噴霧した現像液を吹きつけたのち洗浄する現像方法であって、大型基板においてもシャワー現像により形成パターンの均一性の優れたものを作製できる現像方法を提供する。【解決手段】被現像基板をシャワー噴霧口に搬送後、揺動しながら現像液を吹き付けることを特徴とする。

請求項（抜粋）：

支持体上に感光性樹脂を塗布した後パターン露光を施した被現像基板を、搬送しながらシャワー状に噴霧した現像液を吹きつけたのち洗浄する現像方法であって、被現像基板をシャワー噴霧口に搬送後、揺動しながら現像液を吹き付けることを特徴とする現像方法。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G02B 5/20 101 ,  G03F 7/30

FI (3件)：

G02B 5/20 101 ,  G03F 7/30 ,  H01L 21/30 569 D

Fターム (12件)：

2H048BA02 ,  2H048BA45 ,  2H048BB02 ,  2H048BB14 ,  2H048BB42 ,  2H096AA00 ,  2H096AA28 ,  2H096GA02 ,  2H096GA17 ,  2H096GA21 ,  5F046LA11 ,  5F046LA14