特許

J-GLOBAL ID：200903017382747440

ウエハのプリアライメント方法とその装置ならびにウエハの貼り合わせ方法とその装置

発明者： 阿部 泰三 ,  阿部 英之 ,  阿部 智之 ,  小田 知弘
出願人/特許権者： アユミ工業株式会社
代理人 (1件)： 田中 浩
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-373811
公開番号（公開出願番号）：特開2004-207436
出願日： 2002年12月25日
公開日（公表日）： 2004年07月22日
要約：

【課題】ウエハの貼り合わせに先立つプリアライメントおよび貼り合わせを一連の工程においてウエハ同志の位置ずれを生ずることなく、貼り合わせ後にウエハ間に発生する恐れのあるボイドを少なくし、かつ高精度で行うことができる方法と装置を提供することを目的とする。【解決手段】チャック機構と回転機構とを有する回転テーブル上にチャックし、対向縁をウエハガイドでチャックしたウエハaのオリフラ面の位置および回転角度を角度検出手段にて算出し、ウエハをその所定角度まで回転させることでプリアライメントした2枚のウエハa、bを、貼り合わせ装置C内でオリフラ合わせ機構80によってオリフラ合わせしたのち、押動ピン60で中心を押さえつつ重ね合わせ、その後加重を加えつつ加熱することにより貼り合わせる。【選択図】 図4

請求項（抜粋）：

チャック機構と回転機構とを有する回転テーブル上にチャックしたウエハの対向する両縁をウエハガイドでチャックする工程、 このウエハのオリエンテーションフラット面の位置を角度検出手段にて測定し、ウエハの回転角度を算出する工程、 回転テーブルの回転によってウエハのオリエンテーションフラット面を上記角度検出手段にて算出した所定角度まで回転させる工程、 基準位置まで回転させて位置調整した後、プリアライメント位置まで回転させて位置調整する工程、 とからなることを特徴とするウエハのプリアライメント方法。

IPC (2件)：

H01L21/68 ,  H01L21/02

FI (2件)：

H01L21/68 M ,  H01L21/02 B

Fターム (5件)：

5F031HA26 ,  5F031HA60 ,  5F031JA34 ,  5F031KA08 ,  5F031KA13