セラミックヒータ

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-107859
公開番号（公開出願番号）：特開平10-302938
出願日： 1997年04月24日
公開日（公表日）： 1998年11月13日
要約：

【要約】【課題】ヒータ寿命を長くする。【解決手段】発熱抵抗体5がパターン状に埋設されたセラミック基体4にMo、W、Ni、Cr、Fe、Co、Mn、Tiのうち少なくとも一種を含有する熱放射性膜6を形成したセラミックヒータ1。

請求項（抜粋）：

発熱抵抗体パターンが埋設されたセラミック基体の熱放射面にMo、W、Ni、Cr、Fe、Co、Mn、Tiのうち少なくとも一種を含有するセラミックからなる熱放射性膜を形成してなるセラミックヒータ。

引用特許：

審査官引用 (4件)

全件表示

前のページに戻る