特許

J-GLOBAL ID：200903017396211578

フォトレジスト用ノルボルネン系共重合体およびその製造方法、並びにこれを含むフォトレジスト組成物

発明者： 韓 恩 實 ,  文 奉 錫 ,  愼 重 漢 ,  韓 旭
出願人/特許権者： 三星電子株式会社
代理人 (1件)： 八田 幹雄 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-307209
公開番号（公開出願番号）：特開2003-183327
出願日： 2002年10月22日
公開日（公表日）： 2003年07月03日
要約：

【要約】【課題】 フォトレジスト用ノルボルネン系共重合体およびその製造方法、並びにこれを含むフォトレジスト組成物の提供。【解決手段】 5-ノルボルネン-2-アルカン-1,3-ジオン化合物およびノルボルネン誘導体を必須共単量体として使用し、これに、選択的に前記5-ノルボルネン-2-アルカン-1,3-ジオン化合物の誘導体であるケタール化合物を添加して合成されたフォトレジスト用ノルボルネン系共重合体およびこれを含むフォトレジスト組成物である。これによれば、193nmで高い透明性およびエッチング耐性を有するだけでなく、pKaが調節されるので露光部と非露光部の顕著な溶解速度差によって解像力を高めることができ、また、親水性の高いジケトン官能基を有しているので優れた基板接着力を表し、ArF用フォトレジスト材料として極めて有用に使用されることができる。

請求項（抜粋）：

下記一般式(1b)の5-ノルボルネン-2-アルカン-1,3-ジオン誘導体:【化1】〔式中、R1は、炭素数1〜12の線状、分枝状または環状アルキル基であり;R2は水素原子、または炭素数1〜6の線状、分枝状もしくは環状アルキル基であり;R3、R4およびR5は各々独立して水素原子、または炭素数1〜6の線状もしくは分枝状アルキル基であり、R1とR5は互いに連結して環状ジケトンをなすことができ;R6およびR7は各々独立して炭素数1〜6のアルキル基であって、互いに連結して環を形成でき;pは0〜6の整数である。〕

IPC (5件)：

C08F 32/08 ,  C07D317/26 ,  C07D319/06 ,  G03F 7/039 601 ,  C07B 61/00 300

FI (5件)：

C08F 32/08 ,  C07D317/26 ,  C07D319/06 ,  G03F 7/039 601 ,  C07B 61/00 300

Fターム (33件)：

2H025AA02 ,  2H025AA11 ,  2H025AA14 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BE10 ,  2H025BG00 ,  2H025CB08 ,  2H025CB41 ,  2H025FA10 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  4C022GA07 ,  4H039CA42 ,  4H039CH00 ,  4J100AR11 ,  4J100BA03 ,  4J100BA04 ,  4J100BA11 ,  4J100BA15 ,  4J100BC08 ,  4J100CA01 ,  4J100CA03 ,  4J100CA04 ,  4J100CA05 ,  4J100DA36 ,  4J100DA39 ,  4J100DA61 ,  4J100DA65 ,  4J100JA38