特許
J-GLOBAL ID：200903017409740389
イオン散乱分析装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西田 新
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-209200
公開番号（公開出願番号）：特開平7-065782
出願日： 1993年08月24日
公開日（公表日）： 1995年03月10日
要約：
【要約】【目的】 表面微量元素の分析が可能なイオン散乱分析装置(CAICISS)を提供する。【構成】 試料Sの配置位置と検出器との間に、試料Sからの散乱イオンを集束するための電極2を配置し、また、検出器には径が異なるリング状の二つの検出面を設け、これにより散乱イオンと中性粒子とを同軸上で擬似的に分離し、中性粒子つまり多重散乱による影響を可能な限り少なくしている。
請求項（抜粋）：
試料にイオンを照射するイオン源と、その照射位置から後方に散乱されるイオンを、上記イオン源と同軸上に配置した検出器で検出して、その検出結果を元素分析情報として供するよう構成された分析装置において、試料の配置位置と上記検出器との間に、当該試料からの散乱イオンを上記イオン源の出射ビーム軸に集束するための電場を形成する電極が配置されているとともに、上記検出器には、リング状で径が互いに異なる二つの検出面が、上記イオン源のビーム軸を中心として同心円状に配列されていることを特徴とするイオン散乱分析装置。
IPC (4件)：
H01J 49/06
, G01N 23/225
, H01J 37/244
, H01J 37/252
