特許

J-GLOBAL ID：200903017413113178

投影光学系検査装置及び同装置を備えた投影露光装置

発明者： 村山 正幸
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-083724
公開番号（公開出願番号）：特開平11-283903
出願日： 1998年03月30日
公開日（公表日）： 1999年10月15日
要約：

【要約】【課題】 投影光学系の洗浄タイミングを的確に把握し得ると共に、投影光学系の不完全洗浄を防止し得る投影光学系検査装置及び投影露光装置を提供する。【解決手段】 図2の状態において、発光部18から一定間隔タイミングで照射された照射光のうち、分岐ミラー19を透過した照射光は投影レンズ9の表面で反射された後、第1の受光部20により受光され、分岐ミラー19で分岐された照射光は第2の受光部21により受光される。すると、測定制御系22では、演算部23が記憶部24から読出した所定反射率R0 と、前記両受光部20,21からの光電信号に基づく投影レンズ9表面の実反射率Rr との差ΔRを求める。そして、その差ΔRに基づく汚染度の数値が許容範囲外の場合には、光洗浄装置17における照射用光源16からの照射光が窓材11を透過して投影レンズ9の表面全体を照射し、シューマン・ルンゲ吸収作用に基づく光洗浄が行われる。

請求項（抜粋）：

投影露光装置における投影光学系の最も感光基板側の光学部材表面の汚染度を測定する測定手段を備えた投影光学系検査装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521

FI (3件)：

H01L 21/30 503 G ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 516 Z