特許

J-GLOBAL ID：200903017418560520

露光装置およびワークの露光方法

発明者： 森 田 亮 ,  岡 村 武 彦 ,  綿 貫 稔
出願人/特許権者： 株式会社オーク製作所
代理人 (1件)： 磯野 道造
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-271384
公開番号（公開出願番号）：特開平7-128869
出願日： 1993年10月29日
公開日（公表日）： 1995年05月19日
要約：

【要約】【目的】露光装置の設置スペースを小さくでき、上焼枠は劣化の際に取り替えを容易にし、下焼枠はワークの吸着および離脱を適切にでき、消費電力が小さく、真空フレームの構成およびワークの位置決めが能率よくかつ正確にできる等その他優れた点を備える露光装置およびワークの露光方法を提供することを目的とする。【構成】ワークの第1アライメントステージBと、第1露光ステージCと、反転ステージDと、第2アライメントステージEおよび第2露光ステージFを備え、前記第1アライメントステージB、反転ステージD、第2アライメントステージEを直線方向に配設し、前記第1および第2アライメントステージB,Eの各々は、前記直線方向に直行する方向に、第1および第2露光ステージC,Fのそれぞれを配設し、前記第1および第2露光ステージC,F間に紫外線照射ステージHを備えた露光装置。

請求項（抜粋）：

下焼枠に保持したワークを適正位置に移動させ位置決めするアライメント整合台、および、適正位置を確認する撮像カメラを備える第1アライメントステージと、位置決め済みワークを露光する第1露光ステージと、露光済みワークの表裏を反転する反転ステージと、前記反転ステージで表裏反転した下焼枠上のワークを適正位置に移動させ位置決めするアライメント整合台、および、適正位置を確認する撮像カメラを備える第2アライメントステージと、位置決め済みワークを露光する第2露光ステージを備え、前記第1アライメントステージ、反転ステージ、第2アライメントステージを直線方向に配設し、前記第1および第2アライメントステージの各々は、前記直線方向に直行する方向に、第1および第2露光ステージのそれぞれを配設し、前記第1および第2露光ステージ間に紫外線照射ステージを備え、前記第1アライメントステージから第2アライメントステージの直線位置には、ワークを搬送するハンドラを複数備えており、前記両アライメントステージおよび露光ステージ間では、ワークを保持して位置決め、搬送、露光を行う真空フレームの上下の焼枠は、それぞれを搬送する搬送手段を備えたことを特徴とする露光装置。

IPC (2件)：

G03F 9/00 ,  G03F 7/20

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平1-184821
  
• 特開昭58-007635
  
• 特公昭55-040859