光学デバイス

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：船橋國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-141269
公開番号（公開出願番号）：特開平9-232553
出願日： 1996年06月04日
公開日（公表日）： 1997年09月05日
要約：

【要約】【課題】染料の褪色に伴うカラーフィルターの特性劣化を防止する。【解決手段】光学素子のベースとなるシリコン基板1上にカラーフィルター層4を形成してなる光学デバイスであって、カラーフィルター層4の層上に、炭素を主成分とする透明保護膜5を設けることにより、カラーフィルター層4への水分透過量及び酸素透過量を低減させた。

請求項（抜粋）：

光学素子上にカラーフィルター又は白黒フィルターからなるフィルター層を形成してなる光学デバイスにおいて、前記フィルター層の層上に、炭素を主成分とする透明保護膜を有することを特徴とする光学デバイス。

IPC (3件)：

H01L 27/14 , G02F 1/1335 , H04N 5/335

FI (3件)：

H01L 27/14 D , G02F 1/1335 , H04N 5/335 U

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