透明電極板及びその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-313239
公開番号（公開出願番号）：特開平6-160876
出願日： 1992年11月24日
公開日（公表日）： 1994年06月07日
要約：

【要約】【目的】高品質で広い画面ののディスプレイに使用される透明電極板として充分に高い導電性を有する透明電極板とその製造方法を提供すること。【構成】カラーフィルター層2R、2G、2Bを備える透明基板1に対し、スパッタリング法により、酸化ジルコニウムをドーパントとして添加した酸化インジウムの薄膜3を形成する。酸化ジルコニウムの添加量を増大するにつれてキャリャ密度が増加する一方キャリャの移動度は略一定に維持され、高い導電率の透明電極板が得られる。

請求項（抜粋）：

透明基板上に、酸化ジルコニウムをドーパントとして添加した酸化インジウムから構成される透明導電膜を備えることを特徴とする透明電極板。

IPC (5件)：

G02F 1/1343 , C23C 14/08 , G02F 1/1335 505 , H01B 5/14 , H01B 13/00 503

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