特許
J-GLOBAL ID：200903017421664396
表面変位計
発明者：
出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-058620
公開番号（公開出願番号）：特開平6-102023
出願日： 1992年03月17日
公開日（公表日）： 1994年04月12日
要約：
【要約】【目的】 検出素子とエッジの位置関係に起因して生じる死角の発生を低減できる表面変位計を提供する。【構成】 半導体レーザー9によってレーザー光を発生し、そのレーザー光を集光レンズ13によって被測定物体4の表面へ垂直に投光し、半導体レーザー9と集光レンズ13の間の光路上に配設したミラー12によって被測定物体4からの反射光を前記光路外へ反射させ、このミラー12の反射光路上に四角錐ミラー15を配設してミラー12からの反射光を複数の異なる方向へ反射させ、この四角錐ミラー15の各鏡面の反射光路上で且つ集光レンズ13の焦点位置の各々に位置検出素子16〜19を配設する。
請求項（抜粋）：
レーザー光を発生する光源と、該光源からのレーザー光を被測定物体の表面へ垂直に投光する集光レンズと、前記光源と前記集光レンズの間の光路上に配設されて前記被測定物体からの反射光を前記光路外へ反射させるミラーと、該ミラーの反射光路上に配設されて前記ミラーからの反射光を複数の異なる方向へ反射させる多角錐ミラーと、前記集光レンズの焦点位置で且つ前記多角錐ミラーの各反射光路上に1つずつ配設される複数の検出素子とを具備することを特徴とする表面変位計。
IPC (3件)：
G01B 11/24
, G01B 11/00
, G01C 3/06
