特許
J-GLOBAL ID:200903017422265550

オゾン発生設備およびその運転方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 篠部 正治
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-354650
公開番号(公開出願番号):特開2001-172005
出願日: 1999年12月14日
公開日(公表日): 2001年06月26日
要約:
【要約】【課題】オゾン発生装置の運転中に生成したオゾンの濃度低下を防止して運転性能の安定化を図る。【解決手段】液体酸素設備Aから供給される高純度の酸素ガスをオゾン発生装置Bに導いてオゾン化するオゾン発生設備に対し、液体酸素設備から供給される酸素ガスに空気(もしくは窒素ガス)を混合してオゾン発生装置に送り込む空気源Cを組合せ、オゾン発生装置の運転中に、酸素ガスに空気,もしくは窒素ガスを間欠的,ないしは継続的にに混合してオゾン発生装置に送り込む。これにより、酸素分子の解離効率を高めてオゾン濃度が増加するとともに、同時に生成した窒素酸化物がオゾン発生管の電極表面に付着した水分と結合してオゾンの分解を抑制し、その結果としてオゾン発生装置を長時間連続運転した場合でもオゾンの濃度低下を防止して安定した運転性能が発揮できる。
請求項(抜粋):
液体酸素設備と、オゾン発生装置とを有し、液体酸素設備から供給される高純度の酸素ガスをオゾン発生装置に導いてオゾン化するオゾン発生設備において、液体酸素設備から供給される酸素ガスに空気,もしくは窒素ガスを混合してオゾン発生装置に送り込む空気源,もしくは窒素源を備えたことを特徴とするオゾン発生設備。
Fターム (5件):
4G042CA01 ,  4G042CB01 ,  4G042CC03 ,  4G042CC13 ,  4G042CE04
引用特許:
審査官引用 (7件)
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