特許
J-GLOBAL ID：200903017430051321
カンチレバー及びその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
四宮 通
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-143572
公開番号（公開出願番号）：特開平10-319025
出願日： 1997年05月16日
公開日（公表日）： 1998年12月04日
要約：
【要約】【課題】 試料との間の浮遊容量を低下させ、SN比を向上させる。量産可能とし、低価格化を図る。探針及び支持体を可撓性プレートに対して反対方向に突出させ、共振周波数を高めて高速走査を可能とする。【解決手段】 カンチレバーは、絶縁材料からなる可撓性プレート41と、該プレート41の先端側領域の上面に突設された金属探針42と、プレート41の基端側領域の下面に接合された絶縁材料からなる支持体43とを備える。プレート42の下面には、探針42と電気的に接続されるとともにプレート41の基端側領域に延在する配線パターン44が部分的に形成される。支持体43の上面には、プレート41と重なる領域からプレート41と重ならない領域にかけて延在する配線パターン45が部分的に形成される。パターン44とパターン45とが接触して電気的に接続されるように、プレート41と支持体44とが接合される。
請求項（抜粋）：
絶縁材料からなる可撓性プレートと、該可撓性プレートの先端側領域の一方側の面に突設された探針と、前記可撓性プレートの基端側領域の他方側の面に接合された絶縁材料からなる支持体と、を備え、前記探針の少なくとも先端部が導電材料で構成され、前記可撓性プレートの前記支持体側の面には、前記探針の先端部と電気的に接合されるとともに前記基端側領域に延在する導電材料からなる第1の配線パターンが部分的に形成され、前記支持体の前記可撓性プレート側の面には、前記可撓性プレートと重なる領域から前記可撓性プレートと重ならない領域にかけて延在する導電材料からなる第2の配線パターンが部分的に形成され、前記第1の配線パターンと前記第2の配線パターンとが接触して電気的に接続されるように、前記可撓性プレートと前記支持体とが接合されたことを特徴とするカンチレバー。
IPC (5件)：
G01N 37/00
, G01B 7/00
, G01B 7/34
, G01B 21/30
, H01L 29/84
G01N 37/00 G
, G01B 7/00 K
, G01B 7/34 Z
, G01B 21/30 Z
, H01L 29/84 Z
