特許
J-GLOBAL ID：200903017436020401
真空チャンバ用搬送装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-006596
公開番号（公開出願番号）：特開平5-193741
出願日： 1992年01月17日
公開日（公表日）： 1993年08月03日
要約：
【要約】【目的】この発明は、軸受を大気状態で使用することができる真空チャンバ用搬送装置を提供することにある。【構成】第1のア-ム22と第2のア-ム38を連結する第1の連結軸30、第2のア-ムとフォ-ク56を連結する第2の連結軸47をそれぞれ回転自在に支持する軸受31、48を磁気シ-ル32、49によって真空チャンバ1の内部と遮蔽するとともに、第1、第2のア-ムは第1の駆動軸9と第2の駆動軸13によって回転駆動される構成となっており、さらに第1のア-ムと第2のア-ムとの内部空間は第2の駆動軸に穿設された第1の通気孔13aと第1の連結軸に挿通された第1の伝動軸35に穿設された第2の通気孔33aを介して外気に連通していることを特徴とする。
請求項（抜粋）：
真空チャンバ内でワ-クを搬送するために使用される搬送装置において、中空状に形成された第1のア-ムと、一端部が上記第1のア-ムの一端部に連結され他端部が上記真空チャンバの側壁を貫通し第1のシ-ル手段によって上記真空チャンバの内部と遮蔽された第1の軸受により回転自在に支持された筒状の第1の駆動軸と、この第1の駆動軸に回転自在に挿通されているとともに上記真空チャンバの外部と上記第1のア-ムの内部空間を連通する第1の通気孔が軸方向に沿って穿設された第2の駆動軸と、上記第1のア-ムの他端部に第2のシ-ル手段によって真空チャンバの内部と遮蔽された第2の軸受により一端部が回転自在に支持された筒状の第1の連結軸と、上記第1の連結軸の他端部に一端部が連結された中空状の第2のア-ムと、上記第1の連結軸に回転自在に挿通されているとともに上記第1のア-ムと第2のア-ムの内部空間を連通する第2の通気孔が軸方向に沿って穿設された第1の伝動軸と、上記第2のア-ムの他端部に第3のシ-ル手段によって真空チャンバの内部と遮蔽された第3の軸受により回転自在に支持された筒状の第2の連結軸と、この第2の連結軸の上記第2のア-ムの外部に突出した端部に設けられた上記ワ-クを搬送するための搬送部と、上記第1の駆動軸と第2の駆動軸との回転を上記第1のア-ム、第2のア-ムおよび上記搬送部に伝達する伝達手段とを具備したことを特徴とする真空チャンバ用搬送装置。
IPC (3件)：
B65G 49/00
, B25J 9/06
, B65G 25/00
