特許

J-GLOBAL ID：200903017436470377

非球面研磨工具

発明者： 横手 卓
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (2件)： 喜多 俊文 ,  江口 裕之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-160818
公開番号（公開出願番号）：特開2009-000749
出願日： 2007年06月19日
公開日（公表日）： 2009年01月08日
要約：

【課題】ディップル等が発生せず均一で研磨精度の良好な研磨工具を提供する。【解決手段】工具枠体1に付設された緩衝材2を介して粒度の違う研磨布3A、3B、3C、3D、3Eが工具中心から外周方向に向けて同心円状に貼り付けられている。これらの研磨布3A、3B、3C、3D、3Eは内方側から順に粒度が大きくなるものを並設している。研磨面に並設された研磨布の上面に環状の溝を形成したもので、この溝に砥粒が滞留する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

光学素子の非球面研磨を行う研磨工具の面に、研磨粒度の異なる複数個の研磨布を並設させたことを特徴とする非球面研磨工具。

IPC (2件)：

B24B 13/01 ,  B24B 13/00

FI (2件)：

B24B13/01 ,  B24B13/00 A

Fターム (3件)：

3C049AA09 ,  3C049CA03 ,  3C049CB02

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 非球面研磨工具
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-292829   出願人：オリンパス光学工業株式会社