特許
J-GLOBAL ID:200903017437274288
光導波路およびその製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-204945
公開番号(公開出願番号):特開2000-035524
出願日: 1998年07月21日
公開日(公表日): 2000年02月02日
要約:
【要約】【課題】 多くの工数を要することなく、表面粗さが小であるとともに高精度な矩形状のコア部を形成する光導波路の製造方法を提供し、光の伝搬損失が小である光導波路を提供することである。【解決手段】 基板1上に形成された下部クラッド層2、コア部3aおよび上部クラッド層4とを有する光導波路において、コア部3aが所定の波長光の照射により硬化する光硬化材で構成され、基板1が上記した所定の波長光に対して透明である透明材で構成されていることを特徴とする。たとえば上記した所定の波長光が紫外線であれば、コア部3aを紫外線の照射により硬化する紫外線硬化型樹脂で構成し、基板1を紫外線に対して透明である石英およびガラスのうちの何れか一種で構成するものである。
請求項(抜粋):
基板と、前記基板上に形成された下部クラッド層と、前記下部クラッド層上に形成されたコア部と、前記下部クラッド層および前記コア部を覆って形成された上部クラッド層とを有する光導波路において、前記基板が、所定の波長光に対して透明の材料で構成され、前記コア部が、前記所定の波長光の照射により硬化する材料で構成されていることを特徴とする光導波路。
Fターム (5件):
2H047AA03
, 2H047EE02
, 2H047EE21
, 2H047EE24
, 2H047GG07
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