特許
J-GLOBAL ID：200903017443190185
プローブ
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
八幡 義博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-208234
公開番号（公開出願番号）：特開平7-043384
出願日： 1993年07月30日
公開日（公表日）： 1995年02月14日
要約：
【要約】【目的】 一定の接触圧や安定したピッチ間隔を確保でき、狭ピッチの要求に柔軟に対応できるプローブを提供する。【構成】 2は長さ方向の一端に段部を有しこの段部の水平部の側面に幅方向に21が突設される。1は一側面に長さ方向の一端と他端とを結ぶ導体パターンが幅方向に所定の間隔で複数個形成され、各導体パターンの一端に13が形成されるが、その他側面が15の端部を水平部の先端位置に合わせて2の側面に貼着される。3は長さ方向の一端が1の15他側面に対向し途中部分が13が被試験体に当接していない状態では21に当接して水平部側に向いて湾曲することで一定の加圧力を発生するように他端が段部の垂直部に4で取り付けられ13が被試験体に押し付けられると同時に途中部分が21から離反し被試験体との接触圧を加圧力による一定値に保持する。各13の接触圧は5と8により均一化される。
請求項（抜粋）：
一側面に被試験体の端子に1対1対応で接触できる複数の第1突起電極が形成され他側面に接触を安定にする弾性体が貼着される触針先端部を一端に有し、前記複数の第1突起電極に1対1対応で接続される導体パターンを有する板状回路部分と; 前記第1突起電極が被試験体に接触したとき前記弾性体に係合して第1突起電極に一定の加圧力を与える加圧機構と; 前記第1突起電極が被試験体に接触する前において前記加圧機構に前記一定の加圧力を形成させるオフセット機構と; を備えたことを特徴とするプローブ。
IPC (3件)：
G01R 1/073
, G01R 31/26
, H01L 21/66
