特許
J-GLOBAL ID：200903017443702232
圧電振動子、ならびにその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-092275
公開番号（公開出願番号）：特開平11-274892
出願日： 1998年03月19日
公開日（公表日）： 1999年10月08日
要約：
【要約】【課題】 サポートに圧電板を搭載し、押圧処理を伴う超音波溶着、超音波熱圧着であっても、確実に電気的機械的接合し、サポートの変形、水晶振動板の損傷等の不具合を与えない。【解決手段】 絶縁基板1と、前記絶縁基板の上面に配置されたサポート31,32と、表裏面に電極が形成された圧電板2とを具備し、前記圧電板は、金属バンプ5a〜5rを介して、前記サポートの上部に搭載され、超音波溶着されて電気的機械的接続される圧電振動子であって、前記サポートは、絶縁基板結合部311,321と、圧電板搭載部312,322と、連結部313,323とを有し、前記絶縁基板の上面で、前記サポートの圧電板搭載部が配置される部分には、前記サポートの基板結合部より高い位置で、かつ前記サポートの圧電板搭載部より低い位置に、枕部17,18が形成されている。
請求項（抜粋）：
絶縁基板と、絶縁基板の上面に形成された電極バッドと、当該電極パッドと電気的に接続され外部と接続される導出電極と、前記電極パッドの上面に配置されたサポートと、表裏主面に電極が形成され、当該電極が表裏主面の少なくとも一主面端部に引き出された圧電板とを具備し、前記圧電板は、金属バンプ、または金属膜を介して、前記サポートの上部に搭載され、超音波溶着、または超音波併用の熱圧着されて電気的機械的接続される圧電振動子であって、前記サポートは、絶縁基板結合部と、圧電板搭載部と、前記絶縁基板結合部から圧電板搭載部にかけて立ち上げられた連結部とを有し、前記絶縁基板の上面で、前記サポートの圧電板搭載部が配置される部分には、枕部が形成されており、当該枕部の上面は、前記サポートの基板結合部より高い位置で、かつ前記サポートの圧電板搭載部より低い位置に形成されている事を特徴とする圧電振動子。
IPC (4件)：
H03H 9/19
, H03H 3/02
, H03H 9/02
, H03H 9/09
H03H 9/19 D
, H03H 3/02 B
, H03H 9/02 A
, H03H 9/09
